在加工微小精密零件時，必須充分考慮到（dào）可能（néng）使（shǐ）裝配係統產生定位誤差的因素，控製裝配（pèi）係統的定位精度（dù）。
此外，當前獲得複雜（zá）微小精密零件的超精密加工（gōng）方法主要有兩種，一種是微（wēi）機電係統技術(MEMS)，另外一種是從傳統機械製造技術發展而來的微細製造技（jì）術。
無論采（cǎi）用哪種（zhǒng）技術，都需要先進的測量裝置及方法，因為零件加工精度的提（tí）高（gāo）對測量水平的提高具有嚴格（gé）的依賴性。
微小（xiǎo）精密零（líng）件在結構形式、構件材料和（hé）加工工藝等方麵具有以下特點（diǎn）：
構成材料主要是金屬、合金或（huò）者複（fù）合材料等非矽材料，這些材料具有優秀的（de）機械特性，如高強度、高硬度、耐磨損、抗過載、耐高溫或耐腐蝕（shí）等，能在惡劣工況條件下正常工作。
微小精密零件廣泛存在於各種微小（xiǎo）型係統，包括框架、壁、腔體、軸、槽、輪、孔係等多種結構形式，市場（chǎng）需求（qiú）量大。
指整（zhěng）體尺度（dù）在毫米級，很難（nán）利用常規方法加工的小（xiǎo）型零件。
以準（zhǔn）三維或三維的立體結構為主的結構形式，深寬比高或長徑比（bǐ）大。
結構複雜，空間緊湊，各個部件之間存在確（què）定的連接、傳（chuán）動或裝配關係，對形狀和位置的精度要求非（fēi）常高，對於零件（jiàn）表（biǎo）麵的精密度要求較（jiào）低，不一定要納入納米級（jí）別（bié）。
